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晶體材料制備設備

采用電阻加熱或感應加熱方式,熔煉晶體原料,由籽晶法或物理氣相傳輸法制備各種晶體。主要應用于半導體、LED、大功率器件制備等行業。

泡生法藍寶石晶體生長爐

泡生法藍寶石晶體生長爐

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導模法藍寶石晶體生長爐

導模法藍寶石晶體生長爐

導模法藍寶石晶體生長爐
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碳化硅晶體生長爐

本設備要求采用感應加熱方式,在惰性氣體(氬氣)環境下將石墨坩堝中的碳化硅粉末升華,沉積到碳化硅單晶仔晶上,即物理氣相沉積法(PVT法)生長6″碳化硅單晶。

碳化硅晶體生長爐
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